Контроллер массового расхода (MFC) типа 8711 предназначен для регулирования массового расхода газов в широком диапазоне расхода. Тепловой МЭМС-датчик расположен непосредственно в газовом потоке и поэтому обеспечивает очень короткое время отклика. Пропорциональный клапан прямого действия фирмы Bürkert гарантирует высокую чувствительность. Встроенный ПИ-контроллер обеспечивает превосходные характеристики управления MFC. Тип 8711 может быть дополнительно откалиброван для двух различных газов; Пользователь может переключаться между этими двумя газами. В качестве электрических интерфейсов доступны как аналоговые стандартные сигналы, так и полевые шины.
Преимущества:
Высокая точность и повторяемость.
Очень быстрое время осаждения.