Контроллер массового расхода (MFC) типа 8713 предназначен для регулирования массового расхода газов в широком диапазоне расхода. Тепловой МЭМС-датчик расположен непосредственно в газовом потоке и поэтому обеспечивает очень короткое время отклика. Пропорциональный клапан прямого действия фирмы Bürkert гарантирует высокую чувствительность. Встроенный ПИ-контроллер обеспечивает превосходные характеристики управления MFC. Тип 8713 может быть откалиброван для двух разных газов; Пользователь может переключаться между этими двумя газами.
Преимущества:
Высокая точность и повторяемость.
Очень быстрое время осаждения.
Цифровая связь через RS485.